Implantation

Différence entre la diffusion et l'implantation ionique

Différence entre la diffusion et l'implantation ionique

L'implantation et la diffusion ioniques sont deux techniques utilisées dans la production de semi-conducteurs avec d'autres matériaux. La principale différence entre l'implantation ionique et la diffusion est que l'implantation ionique est isotrope et très directionnelle alors que la diffusion est isotrope et qu'il y a diffusion latérale.

  1. Pourquoi l'implantation ionique est préférée à la diffusion?
  2. Qu'entend-on par implantation ionique?
  3. Qu'est-ce que l'implantation ionique dans la fabrication de circuits intégrés?
  4. Quels sont les avantages de la technique d'implantation ionique?
  5. Pourquoi un recuit est nécessaire après l'implantation ionique?
  6. Qu'est-ce que l'implantation et la diffusion ioniques?
  7. Quelle est la signification de l'ion?
  8. Qu'est-ce qu'un implanteur?
  9. Qu'est-ce que la canalisation ionique?
  10. Qu'est-ce que le durcissement à la flamme et l'implantation ionique?
  11. Que contient la source d'ions?
  12. À quoi sert la lithographie dans la fabrication de semi-conducteurs?

Pourquoi l'implantation ionique est préférée à la diffusion?

Nous avons vu comment les dopants étaient introduits dans une plaquette en utilisant la diffusion («prédéposition» et «drive-in»). L'implantation ionique est préférée car: - une dose contrôlée, faible ou élevée peut être introduite (1011 - 1018 cm-2) - la profondeur de l'implant peut être contrôlée. Utilisé depuis 1980, malgré les dommages au substrat; faible débit et coût.

Qu'entend-on par implantation ionique?

L'implantation ionique est un processus de traitement de surface dans lequel les ions d'azote ou de carbone sont accélérés et amenés à pénétrer la surface d'un composant pour lui conférer une résistance à l'usure. ... En utilisant cette approche, un faisceau d'ions à haute énergie (50 à 200 keV) peut être dirigé sur la surface du composant.

Qu'est-ce que l'implantation ionique dans la fabrication de circuits intégrés?

L'implantation ionique est un processus à basse température par lequel les ions d'un élément sont accélérés en une cible solide, modifiant ainsi les propriétés physiques, chimiques ou électriques de la cible. L'implantation ionique est utilisée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et dans la finition des métaux, ainsi que dans la recherche en science des matériaux.

Quels sont les avantages de la technique d'implantation ionique?

Les avantages de l'implantation ionique sont: Un contrôle précis de la dose est possible grâce à la mesure du courant ionique. La distribution en profondeur des dopants injectés et le désordre du réseau introduit sont directement liés à l'énergie ionique et aux masses du matériau cible et de l'ion.

Pourquoi un recuit est nécessaire après l'implantation ionique?

Pendant l'implantation, les dopants implantés sont bombardés dans le silicium, et ce processus produit des défauts ponctuels dans le réseau. ... La condition de recuit a un effet majeur sur les cellules solaires à implantation ionique car elles contrôlent l'activation et le profil de diffusion des dopants à implantation ionique.

Qu'est-ce que l'implantation et la diffusion ioniques?

L'implantation ionique est un processus fondamental utilisé pour fabriquer des micropuces. Il s'agit d'un processus à basse température qui comprend l'accélération des ions d'un élément particulier vers une cible, modifiant les propriétés chimiques et physiques de la cible. La diffusion peut être définie comme le mouvement des impuretés à l'intérieur d'une substance.

Quelle est la signification de l'ion?

1: un atome ou groupe d'atomes qui porte une charge électrique positive ou négative du fait d'avoir perdu ou gagné un ou plusieurs électrons. 2: une particule subatomique chargée (comme un électron libre)

Qu'est-ce qu'un implanteur?

n. (ĭm′plănt ′) Quelque chose d'implant, en particulier un tissu ou un dispositif implanté chirurgicalement: un implant dentaire; un implant sous-cutané.

Qu'est-ce que la canalisation ionique?

L'influence du réseau cristallin sur les trajectoires des ions pénétrant dans le cristal est connue sous le nom de canalisation - un terme qui visualise les lignes et les plans atomiques comme des guides qui dirigent les ions énergétiques le long des canaux entre les lignes et les plans..

Qu'est-ce que le durcissement à la flamme et l'implantation ionique?

Le durcissement par induction consiste à utiliser des courants électriques induits pour générer très rapidement de la chaleur par hystérésis, généralement dans une pièce fabriquée en acier à teneur moyenne à élevée. Le durcissement à la flamme utilise des brûleurs oxy-combustibles pour chauffer la pièce par conduction.

Que contient la source d'ions?

Une source d'ions est un appareil qui crée des ions atomiques et moléculaires. Les sources d'ions sont utilisées pour former des ions pour les spectromètres de masse, les spectromètres d'émission optique, les accélérateurs de particules, les implanteurs d'ions et les moteurs ioniques.

À quoi sert la lithographie dans la fabrication de semi-conducteurs?

La fabrication d'un circuit intégré (IC) nécessite une variété de processus physiques et chimiques exécutés sur un substrat semi-conducteur (par exemple, silicium). Le mot lithographie vient du grec lithos, signifiant pierres, et graphia, signifiant écrire. ...

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